超平面度超硬 材料制造能力
韶光芯材實現了在ф300mm范圍平面度1um以內批量化規?；募庸つ芰?；
韶光芯材實現了在ф300mm范圍平面度100nm（1/6波長）以上工藝定制化的加工能力；
韶光芯材具備對石英，陶瓷，SiC及碳材料等超硬材料的線切割，研磨，拋光，激光切割，激光鉆孔，超精密數控機床（1um精度）的加工能力；
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